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磁性液位计与压力控制器之间的内在联系说明

金沙总站6165注册作者::发表时间:2018-03-19 11:03:53

    带有集成磁性液位计的PPCMA压力控制器提供压力测量和控制,同时监控紧凑型过程应用(如背面晶圆冷却)的质量液位,采用紧凑型封装,与以前的多组分系统相比,节省了关键空间任务。
    PPCMA采用领先的磁性液位计技术进行压力测量,并使用获得专利的热式液位计来监测气体液位流量。两者都与一个比例控制阀和最新的控制电子元件集成在一起,以实现快速准确的压力控制,并将关键流量监测作为系统诊断。 PPCMA可配置5至1000托满量程压力,控制范围为满量程的5至100%。阀门和液位计可根据工艺条件进行配置,满量程流量范围为5至5000 sccm满量程。
    PPCMA可与数字(DeviceNet或EtherCAT)I  O一起使用,从而可以直接集成到新的或改进的应用中。通过设备的微型USB用户界面,可以通过任何带有Web浏览器的PC访问原位调节和组件诊断。
    特点与优势:
    以最小的过冲快速响应设定点
    金属密封洁净室制造的设备满足关键的高纯度应用需求
    一体式电容式压力计技术提供准确性,可靠性和广泛的范围
    集成压力测量和控制功能,在单个封装中进行液位计量,所需空间更少,系统成本更低
    应用:
    PPCMA压力控制器适用于输送室压力控制,关键背面晶圆压力控制和工艺气体面板压力平衡以及排气压力控制应用。

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